燃气加热器：HOT-N2 装置/涡流喷射机
大成技研株式会社的HOT-N2UNIT气体加热器是一种通过加热氮气来抑制半导体和液晶显示器制造设备排放的气体反应产物（细粉）的设备。它还可以用于缩短真空干燥设备的低温再生时间和干燥时间，从而显著减少维护工时并提高生产效率。


左照片/HNH-1
右照片/HNH-C-SI-1


什么是热氮装置？


一种在洁净的氮气 (N2) 环境中快速加热真空设备、真空泵和排气管道的装置。


什么是涡流喷射机？


由于其独特的涡流结构，该管道接头能够长时间保持高温的 HOT-N2 层。


系统配置（半导体/LCD工厂的粉末抑制）



应用：  防止
蚀刻、CVD、ALD、离子注入等工艺中排气管道堵塞；  防止粉末捕集器（TRAPAC）后管道中反应产物积聚；防止  干式真空泵转子段中反应产物积聚  和堵塞等；  防止TMP出口管道附近反应产物堵塞。
特点
：• 采用筒式加热系统，使用寿命长。
• 气密性极佳（小于 1 x 10⁻¹⁰ PA・m² /sec）。
• 设计紧凑，易于在狭小空间内安装。








系统配置（缩短低温再生时间）


应用
：缩短低温再生时间。
特点
：专用于低温泵的加热器。体积小巧、重量轻
、结构紧凑。安装简便。
可定制规格。
安全耐热。