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VSS-620 标准硬件规格
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腔室材料
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铝合金 |
| 设备尺寸（宽x深x高） | 900毫米 x 900毫米 x 1345毫米 |
| 设备重量 | 480公斤 |
| 腔室高度 | 50毫米 |
| 最大板材尺寸 | 600毫米 x 600毫米 |
| 达到的最高温度 | 450°C |
| 加热方法 | 交叉式红外线（IR）光加热器（底部加热）67kW |
| 平板上表面的温度差 | 在±1.5%以内 |
| 最大加热速率 *取决于物体的热容量。 |
180K/分钟 |
| 最大冷却速率 *取决于物体的热容量。 |
90K/分钟（T=450°C>200°C） 60K/分钟（T=200°C>100°C） |
| 腔室真空耐久性 | 0.1 帕 (10⁻³ 百帕) |
| 工艺气体供应管线 | 质量流量控制器 x 1（最大流量：5nlm） |
| 控制器 | 触摸面板控制器 SIMATIC© |
| 个人资料项目注册人数 | 最多：50 个程序 |
| 程序步骤数 | 最多：50步 |
| 过程数据存储位置 | USB 存储器/SD 卡/以太网 |
| 腔室冷却系统 | 水套系统（水冷却） |
| 加热板冷却系统 | 水冷/风冷（可共用） |
| 电源规格 | 三相，200V，67kW *日本规格 |
| 选项 | |
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高压
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高真空腔（10⁻⁴ Pa/10⁻⁶ hPa）和涡轮分子泵
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电
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腔室高度 100 毫米，带有 Φ65 毫米的前观察窗。
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FA II
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内置甲酸盐还原模块（标准氮气供应和独立MFC系统）
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FA III
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内置甲酸盐还原模块（共用标准N2气体供应和MFC）
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FA IV
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FA-II 或 FA-III 可选配额外的甲酸自动供应系统
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胖的
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用于去除甲酸气体的化学过滤器
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FT
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用于通量吸附的活性煤过滤器
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毫米
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腔室湿度测量和记录功能及湿度测量传感器
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氧化学
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腔室残余氧浓度测量和记录功能及残余氧浓度测量传感器
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奥德三世
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具备腔室残余氧浓度测量和记录功能，以及便携式残余氧浓度测量传感器
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FG-O2
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同时使用泡沫气体和氧气时的安全装置
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SL
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用于与外部设备通信的串行通信功能（RS-232）
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遥控车
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具备遥控功能，可打开和关闭腔室盖。
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南卡罗来纳州
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安全光幕接口
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PT
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三色警示灯（红、黄、绿）
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创伤后应激障碍
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三色警示灯（红、黄、绿），蜂鸣器音量可调。
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SW-VP
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真空泵电源自动开关控制功能。
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TC I
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可选配热电偶（需另购外部数据记录仪）
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TC II
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可选配热电偶，用于测量和记录物体温度（最多 1 个）
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VAC II
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腔室真空度测量和记录功能，以及皮拉尼真空传感器（测量下限：0.1 Pa）
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用于 MFC 的可编程适配器
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用于 MFC 的可编程适配器
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