| VSS-450-300 标准硬件规格 | |
| 腔室材料 | 铝合金 |
| 设备尺寸（宽x深x高） | 540毫米 x 690毫米 x 890毫米 |
| 设备重量 | 约120公斤 |
| 腔室高度 | 75毫米 |
| 最大板材尺寸 | 300毫米 x 300毫米 |
| 达到的最高温度 | 450°C |
| 加热方法 | 交叉式红外线（IR）光加热器（底部加热）18kW |
| 平板上表面的温度差 | 精度在±1.5%以内（适用于200毫米晶圆） （例如：±3K @ 300 °C） |
| 最大加热速率 *取决于物体的热容量。 |
150K/分钟 |
| 最大冷却速率 *取决于物体的热容量。 |
90K/分钟（T=450°C>200°C） 60K/分钟（T=200°C>100°C） |
| 腔室真空耐久性 | 0.1 帕 (10⁻³ 百帕) |
| 工艺气体供应管线 | 质量流量控制器 x 1（最大流量：5nlm） |
| 控制器 | 触摸面板控制器 SIMATIC© |
| 个人资料项目注册人数 | 最多：50 个程序 |
| 程序步骤数 | 最多：50步 |
| 过程数据存储位置 | USB 存储器/SD 卡/以太网 |
| 腔室冷却系统 | 水套系统（水冷却） |
| 加热板冷却系统 | 水冷/风冷（可共用） |
| 电源规格 | 三相，200伏，50/60赫兹，52安培 *日本规格 |
| 选项 | |
| 高压 | 高真空腔（10⁻⁴ Pa/10⁻⁶ hPa）和涡轮分子泵 |
| TH | 上部红外加热模块 *电源规格：三相，200V，50/60Hz，52A x 2 |
| 准会员 | 用于上部红外加热器隔离的石英玻璃板 *套装包含 VSS-TH 选件 |
| 电 | 腔室高度 120 毫米，带有 Φ65 毫米的前观察窗。 |
| HT | 最高温度达到600℃ |
| ExOH | 上部模块开口尺寸：300 毫米（标准规格：200 毫米） |
| FA II | 内置甲酸盐还原模块（标准氮气供应和独立MFC系统） |
| FA III | 内置甲酸盐还原模块（共用标准N2气体供应和MFC） |
| FA IV | FA-II 或 FA-III 可选配额外的甲酸自动供应系统 |
| 胖的 | 用于去除甲酸气体的化学过滤器 |
| FH | 带有加热装置的上盖可防止焊剂凝固。 |
| 毫米 | 腔室湿度测量和记录功能及湿度测量传感器 |
| FG-O2 | 同时使用泡沫气体和氧气时的安全装置 |
| 氧化学 | 腔室残余氧浓度测量和记录功能及残余氧浓度测量传感器 |
| 奥德三世 | 具备腔室残余氧浓度测量和记录功能，以及便携式残余氧浓度测量传感器 |
| OPL | 增压规格最高可达 0.02 MPa（过压） |
| 楼主 | 增压规格最高可达 0.2 MPa（过压） |
| SL | 用于与外部设备通信的串行通信功能（RS-232） |
| 遥控车 | 具备遥控功能，可打开和关闭腔室盖。 |
| PT | 三色警示灯（红、黄、绿） |
| 创伤后应激障碍 | 三色警示灯（红、黄、绿），蜂鸣器音量可调。 |
| SW-VP | 真空泵电源自动开关控制功能。 |
| TC I | 可选配热电偶（需另购外部数据记录仪） |
| TC II | 可选配热电偶，用于测量和记录物体温度（最多 1 个） |
| VAC II | 腔室真空度测量和记录功能，以及皮拉尼真空传感器（测量下限：0.1 Pa） |
| 吊销 | Φ150、Φ200、Φ300 毫米晶圆升降选项 |
