| RSS-160-SC 标准硬件规格 | |
| 腔室材料 | 铝合金 |
| 设备尺寸(宽x深x高) | 365毫米 x 520毫米 x 275毫米 |
| 设备重量 | 25公斤 |
| 腔室高度 | 70毫米 |
| 最大板材尺寸 | 160 毫米 x 160 毫米 |
| 达到的最高温度 | 400°C |
| 加热方法 | 加热棒 |
| 平板上表面的温度差 | 在±1.5%以内 |
| 最大加热速率 *取决于物体的热容量。 |
100公里/分钟 |
| 最大冷却速率 *取决于物体的热容量。 |
120 K/min. (T = 400 °C > 200 °C) 90 K/min. (T = 200 °C > 50 °C) |
| 腔室真空耐久性 | 0.1 帕 (10⁻³ 百帕) |
| 工艺气体供应管线 | 质量流量控制器 x 1(最大流量:5nlm) |
| 控制器 | 触摸面板控制器 SIMATIC© |
| 个人资料项目注册人数 | 最多:50 个程序 |
| 程序步骤数 | 最多:50步 |
| 过程数据存储位置 | USB 存储器/SD 卡/以太网 |
| 腔室冷却系统 | 水套系统(水冷却) |
| 加热板冷却系统 | 水冷/风冷(可共用) |
| 电源规格 | 单相,200伏,50/60赫兹,10安培 *日本规格 |
| 选项 | |
| FA II | 内置甲酸盐还原模块(共用标准N2气体供应和MFC) |
| 胖的 | 用于去除甲酸气体的化学过滤器 |
| 伊利诺伊州 | 腔室盖互锁 |
| PT | 三色警示灯(红、黄、绿) |
| SW-VP | 真空泵电源自动开关控制功能。 |
| TC II | 可选配热电偶,用于测量和记录物体温度(最多 1 个系统) |
| VAC II | 腔室真空度测量和记录功能,以及皮拉尼真空传感器(测量下限:0.1 Pa) |
| VAC升级 | 腔室真空度测量和记录功能,以及皮拉尼真空传感器(测量下限:0.1 Pa) |
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