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RTP-100 硬件规格
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有效加热面积
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直径 100 毫米（4 英寸）
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腔室高度
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18毫米
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达到的最高温度
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1200℃
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最大加热速率
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最大速度 150 K/秒（100 毫米直径硅晶片）
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最大冷却速率
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200 K/min T= 1200 °C > 400 °C；
30 K/min T= 400 °C > 100 °C |
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终极真空
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最大 10⁻³ hPa
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燃气供应管线
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单通道质量流量控制器 (MFC) *最多可连接 3 个通道
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温度曲线程序
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最多 50 步
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可注册的课程数量
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最多 50 个节目
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加热板冷却系统
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空冷式（N2）
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腔室冷却
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冷却水循环法
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电源规格
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400/230伏，20千瓦
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设备尺寸（宽 x 深 x 高）
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504毫米 x 521毫米 x 576毫米
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设备重量
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55公斤
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腔室材料
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由铝制成
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工艺腔室尺寸
（宽 x 深 x 高） |
134 x 169 x 18 毫米
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加热方法
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上下加热采用 18 个红外灯（20 千瓦）
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平板上表面的温度差
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≤ ±1.5 设定温度
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控制器系统
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SIMATIC® 控制器
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保存日志数据
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USB接口、SD卡槽、以太网（LAN连接）
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选项
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高压
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高真空腔（10⁻⁴ Pa/10⁻⁶ hPa）和涡轮分子泵
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EP
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最大升温速率 200 K/秒。（可选）
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HT
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最高温度：1200℃（可选）
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毫米
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腔室湿度测量和记录功能及湿度测量传感器
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FA III
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用于RTP的甲酸还原模块
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FG-O2
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同时使用泡沫气体和氧气时的安全装置
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氧化学
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腔室残余氧浓度测量和记录功能及残余氧浓度测量传感器
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奥德三世
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具备腔室残余氧浓度测量和记录功能，以及便携式残余氧浓度测量传感器
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PT
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三色警示灯（红、黄、绿）
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SW-VP
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真空泵电源自动开关控制功能。
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TC I
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可选配热电偶（需另购外部数据记录仪）
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TC II
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可选配热电偶，用于测量和记录物体温度（最多 1 个系统）
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德克萨斯州
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可选择延长高温下的温度维持时间
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TX-HT
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最高可达到温度 1200°C，并可选择在高温下延长温度保持时间。
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EP-XHT
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最高温度：1500℃（可选）
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VAC II
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腔室真空度测量和记录功能，以及皮拉尼真空传感器（测量下限：0.1 Pa）
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